Жалюзийные фильтры

Здесь отсутствие прямой видимости между катодом и подложкой (а следовательно - и фильтрующие свойства системы) определяется кольцевой формой катода и соотношениями между его диаметром, диаметром центрального отверстия катушки и расстояниями катод-катушка и катушка-подложка.

Система формирования радиальных потоков (СФРП) фильтрованной плазмы содержит два одинаковых вакуумно-дуговых источника плазмы с магнитной фокусировкой. Источники размещены сносно и направлены навстречу один другому. Плазма двух встречных осевых потоков смешивается в центральной части системы и выходит наружу в виде радиального потока через кольцевой проем между анодами источников. Усредненный по времени поток имеет однородное по азимуту распределение плотности. Пройдя через проём между анодами, поток попадает на кольцевой экран, охватывающий этот проём. Подложки размещаются вокруг проёма либо на изолированных от экрана подложкодержателях, либо непосредственно на экране. По отношению к анодам экран находится под отрицательным потенциалом (плавающим или принудительным). Роль экрана могут играть стенки заземлённой камеры. Аноды в этом случае должны быть изолированы от камеры.

Сумма аксиальных ионных потоков, генерируемых обоими источниками, трансформируется в радиальный поток с достаточно малыми потерями: коэффициент трансформации достигает величины 0,9. В случае титановой плазмы при В 8 Тл системный коэффициент составляет 8,4%. Это примерно в 3 - 7 раз выше соответствующих показателей для других наиболее известных источников фильтрованной плазмы, работающих в режиме постоянного тока.

На лабораторной установке с рассмотренной системой получены бескапельные покрытия TixNy, А1203, A1N, TiCN, Ti, Al, Си, а-С.