Возвратно-поступательное движение

Для создания вакуума используются высоковакуумные насосы НВДМ-400, для форвакуумной откачки рекомендуется агрегат ЕН1200 + Е1М275, Edwards.

Поток паров КОС формируется в бачке с жидким КОС, который закреплен справа на цилиндрической части камеры, под панелью с РРГ. Бачок объемом - 5 л, имеет систему нагрева и поддержания заданной температуры, стеклянный указатель уровня жидкости и манометр, показывающий давление в бачке.

Предварительная откачка бачка и обезгаживание жидкого КОС осуществляется через клапан КВР-25, подсоединенный к форвакуумной магистрали.

Для измерения давления используются датчики фирмы Pfiefier, в том числе для контроля процесса реактивного осаждения применяется деформационный, емкостный датчик CMR 274.

Обе установки имеют систему управления на основе контроллера, компьютера с монитором, устройства измерения рабочих параметров и кнопочный пульт управления.

На мониторе показывается схема установки с визуализацией состояния элементов и текущие параметры технологического процесса. На мониторе также показываются режим работы и текущие установки рабочего процесса.

После загрузки камеры оператор нажимает кнопку Пуск на панели управления и нажимает кнопку Открыть камеру но завершении технологического цикла - появлении надписи на мониторе Цикл завершен.

Программа управления осуществляет запись параметров технологического процесса, что обеспечивает возможность дальнейшего контроля и анализа.

Предприятие продолжает выпускать установки для нанесения покрытий на листовое стекло. Одной из последних установок этой серии является установка ВАТТ 1600х2400-ЭД, предназначенная для модифицирования оптических свойств стекла размером 1600x2400 путем нанесения покрытий на основе титана и его соединений дуговым методом.