Увеличение линейных размеров

С помощью диафрагмы отсекается периферийная, наиболее интенсивная часть потока МЧ, а ионная компонента плазмы, сфокусированная магнитным полем катушки, проходит через отверстие диафрагмы.

Нетрадиционные способы фильтрации. В отличие от всех предыдущих вариантов плазменных фильтров, в которых управление плазменным потоком осуществляется скрещенными электрическим и магнитным полями, в системе, предложенной Мейером и Шайбе, отклонения ионной компоненты плазменного потока, генерируемого импульсным источником с лазерным поджигом, осуществляется полем положительно заряженного отклоняющего электрода. Однако в отсутствие магнитного поля потенциал отклоняющего электрода, необходимый для заметного воздействия на ионы плазменного потока, достигается при очень больших токах на этот электрод, превышающих ток дуги между катодом и анодом. В окончательном варианте запатентованного устройства анодом служит отклоняющий электрод.

В работе Бендера и др. исследован процесс экстрагирования ионов из плазмы дугового разряда с помощью холловского слоя, формируемого в условиях поперечного магнитного поля. Ионный ток, генерируемый КП дуги в магнитном поле, испытывает разворот на 180°, отделяясь от капельной фракции, разлетающейся в пространство над катодом. Таким образом, МЧ не попадают на подложку, лежащую в одной плоскости с рабочей поверхностью катода. Эффективность прохождения ионной компоненты от катода к подложке в оптимальном режиме достигает 70%.

В устройстве, предложенном Крауссом, ионный поток плазмы, генерируемой катодным пятном дуги, отклоняется на 90° вследствие дрейфа частиц в поперечном магнитном поле. Для компенсации пространственного заряда ионов служит термоэмиссионный электронный нейтрализатор, размещённый вблизи подложки.

Все три нетрадиционных плазменных фильтра пока находятся в стадии лабораторных исследований.