Упрощение магнитной системы

Эффективная площадь поперечного сечения потока для большинства таких фильтров составляет всего несколько см, в лучшем случае - несколько десятков см2. Это, в свою очередь, обусловливает соответствующие неудобства при использовании рассматриваемых устройств на практике. Обработка изделий с размерами, превышающими сечение плазменного потока, нанесение покрытий с равномерным распределением свойств (в первую очередь толщины) невозможны без дополнительного усложнения систем введением узлов развёртки плазменного потока.

Получить объективные сведения о качестве очистки плазмы, достигаемого с помощью того или иного фильтра, из имеющихся публикаций практически невозможно. В большинстве случаев авторы публикаций ограничиваются заявлениями, что ими достигнута высокая степень очистки плазмы от макрочастиц, не приводя данных о количественной оценке фильтрующих свойств описываемой ими системы.

Существующие методы определения степени очистки плазмы от МЧ основаны на подсчёте плотности дефектов, оставляемых частицами в конденсате (с прилипанием и без прилипания). Процедура подсчёта крайне громоздкая и трудоемкая. Грубая оценка качества очистки плазмы может быть осуществлена измерением шероховатости (Ra) поверхности конденсата, полученного на полированной подложке. Что же касается прогнозирования степени очистки, которую должен обеспечить проектируемый фильтр, то в распоряжении разработчика кроме интуиции имеется, пожалуй, только один принцип: проектируемая система должна обеспечивать отсутствие прямой видимости подложки со стороны катода. Это сильно усложняет проблему оптимизации фильтра, особенно в тех случаях, когда проектируемую систему предполагается использовать для очистки плазмы вакуумной дуги с графитовым катодом, генерирующим твёрдые, рикошетирующие, МЧ.