Управляемое движение КП

Если магнитное поле направлено наклонно к поверхности катода, то траектория КП, совершающего ретроградное перемещение под действием тангенциальной компоненты поля, отклоняется в сторону острого угла, под которым вектор магнитного поля пересекает поверхность катода, в соответствии с так называемым правилом острого угла. Следует, однако, отмстить, что правило это не универсально: на поведении КП сказывается также кривизна магнитного поля и геометрия разрядного промежутка, действие которых может приводить к результату, противоположному тому, который предусматривается правилом. Так, в неоднородном магнитном поле КП смещается преимущественно в сторону увеличения тангенциальной составляющей поля даже в тех случаях, когда это не совпадает с направлением острого угла.

Бескапельные режимы дуги. В обзоре Боксман и Голдсмит ссылаются на ряд работ по исследованию возможности осуществления таких режимов дуги, при которых генерируются бескапельные атомарно-ионные потоки. Один из способов получения таких потоков основан на распылении мишени из рабочего металла высокоэнергетичными ионами того же металла, генерируемых дугой с катодным пятном. Подложка при этом размещается в потоке распыляемых частиц материала мишени и отгораживается от катода, эмитирующего плазму с МЧ.

Другой способ состоит в том, что один из электродов дуги термически изолируют. В этом случае температура этого электрода может достигать уровня, при котором происходит интенсивное его испарение со сравнительно большой поверхности без образования капель. Если теплоизолированным является анод, то подложку размещают на пути прямых потоков с анода, но так, чтобы она, как и в первом случае, была отгорожена от катода. Следует отметить, что как первый, так и второй способы можно отнести к бесфильтровым лишь с определённой долей условности, так как в обоих случаях подложка находится вне зоны видимости со стороны катода, хотя между источником конденсируемых потоков частиц и подложкой никаких преград нет.