Уменьшение потенциала смещения

В конденсатах, полученных при наклонном падении плазменного потока, ось текстуры образует с нормалью к поверхности образца угол -20°, а уровень остаточных напряжений в 1,7 раз ниже, чем в пленках, полученных при нормальном падении.

Изделия из полиакрила находят всё большее применение в технике и быту, в частности, в тех областях, где необходима высокая прозрачность в сочетании с дешевизной, например, очковые стёкла, линзы Френеля и т. п. Однако под влиянием разрушительных экологических и погодных факторов полиакрил теряет свои оптические свойства. Поэтому проблема защиты изделий из полиакрила от действия ультрафиолетового излучения, влаги, а также механического, абразивного и химического воздействий со стороны загрязнённой атмосферы является достаточно актуальной. Задача может быть решена путём нанесения на поверхность полиакрила тонкой защитной плёнки из стойкого в отношении указанных выше факторов материала.

В качестве такого материала нами использована плёнка из нитрида алюминия, осаждаемая вакуумно-дуговым методом. Нитрид алюминия обладает высокой прозрачностью в видимом диапазоне, характеризуется высокой твёрдостью (от 10 до 50 ГПа) и химической инертностью ко многим видам атмосферных загрязнений. Плёнку нитрида алюминия осаждали из плазмы вакуумного разряда в атмосфере азота с использованием катода из алюминия. Требование высокой прозрачности получаемых покрытий приводит к необходимости использования так называемых сепарирующих устройств, обеспечивающих бескапельность покрытий. В основе большинства таких устройств лежит принцип пространственного разделения потоков металлической плазмы и таких нежелательных макровключения, как капли металла. В эксперименте образцы располагались в потоке металлической (АГ) плазмы на водоохлаждаемом подложкодержателе вне зоны досягаемости капельных продуктов эрозии катода. Выравнивание толщины конденсата по площади образца достигалось вращением подложкодержателя.