Толщина пленок

Согласно результатам ожеспектроскопии основными элементами в конденсатах, полученных вакуумно-дуговым методом путем осаждения алюминиевой плазмы в атмосфере азота, являлись алюминий и азот при незначительном содержании примесей газов из остаточной атмосферы в вакуумной камере. Концентрация атомов А1 и N в пленке зависела от давления азота в процессе осаждения. Содержание элементов, соответствующее стехиометрическому составу фазы A1N, наблюдалось при давлении азота 0,1 Па.

Результаты рентгеновской флуоресцентной спектроскопии свидетельствуют, что давление газа существенно влияет и на скорость осаждения покрытия. Для серии образцов, изготовленных за одинаковый промежуток времени при различных значениях давления азота в диапазоне 0,008-0,5 Па, интенсивность характеристической линии Al-Ко на спектрах рентгеновской флуоресценции, которая пропорциональна эффективной толщине конденсатов, отличалась в 3 раза. Максимальная скорость осаждения наблюдалась при давлении 0,1 Па и составляла 2,5 нм/с при потенциале смещения на подложке 300 В. При уменьшении потенциала до 30 В скорость осаждения снижалась до 0,2 нм/с.

Установлено, что при потенциале смещения 30 В наклонное падение плазменного потока под углом 30° к поверхности подложки приводит к уменьшению на 20 % толщины осажденного покрытия A1N по сравнению с нормальным падением, а также к увеличению температуры радиационного нагрева подложки во время осаждения от 60 до 90°С.

Для рентгеноструктурных исследований были выбраны образцы, осажденные при давлении 0,1 Па, соответствующее стехиометрическому составу фазы A1N. На большей части дифактограмм, снятых в 9-26-геометрии линии пленки практически не выявляются.