Титановая плазма

С одной стороны, соединения на основе (TI, A1)N привлекают к себе повышенное внимание как весьма перспективные материалы для формирования износостойких покрытий. С другой стороны, титан и алюминий являются достаточно удобной парой элементов для измерения их относительного содержания в конденсатах, в частности рентгенофлюоресцентным методом, который был использован при выполнении настоящих исследований.

Покрытия осаждали на полированные образцы из нержавеющей стали СтЗ или из меди. Образцы размещались на расстоянии Л=175мм от оси системы вдоль с интервалом 40 мм. Во время осаждения покрытий на образцы подавали отрицательный относительно заземлённой камеры потенциал 50 В. Постоянный ток дугового разряда в обоих плазменных источниках поддерживали на уровне (100 ± 5) А. Величина тока во всех секциях фокусирующих соленоидов была одинакова и составляла 0,4 А. Направление токов в соленоидах было одинаково, что соответствовало двухзеркальному распределению магнитного поля в системе с максимумами в местах размещения стабилизирующих катушек. Зазор между анодами плазменных источников составлял 240 мм. В центре системы, перпендикулярно её оси, между торцами источников плазмы был установлен экран из нержавеющей стали в виде диска диаметром 80 мм и толщиной 1 мм (на схеме не показан). Экран был установлен с целью уменьшения интенсивности взаимного запыления катодов. Толщина h покрытий определялась по высоте ступеньки между поверхностью покрытия и оголённой поверхностью части подложки, которую перед осаждением покрытия закрывали кусочком металлической фольги. Скорость осаждения определяли по времени, затраченному на осаждение покрытия толщиной И.

Элементный анализ покрытия осуществляли рентгенофлюоресцентным методом (рентгенофлюоресцентный спектрометр Спрут, производство АО Укррентген, Украина; первичное облучение - рентгеновской трубкой с анодом Ag, U = 42 кВ). Фазовый анализ производили с помощью рентгеновского дифрактометра ДРОН-2 (излучение анода Fe - Ка, С/=25кВ; съёмка по схеме 9-20, поточечная с шагом 0,1° и длительностью 40 с в точке).