Термическое воздействие плазмы

Оценки показывают, что напряженность электрического поля в объеме пор составляет 105 В/м, что достаточно для пробоя поры.

Следовательно, при обработки капиллярно-пористых тел в плазме ВЧ-разряда внутри поддерживается несамостоятельный импульсно-персодический разряд. Ионы, порожденные разрядом, рекомбинируют на стенках пор с выделением энергии рекомбинации, что приводит к модификации внутренней поверхности стенок пор.

Таким образом, применение ВЧ-плазмы пониженного давления позволяет провести преобразование Сг3+ в Сг6+, что даёт возможность использовать этот способ для регенерации активных слоев отработанного алюмохромового катализатора.

Предложенная физическая модель показывает что регенерация активного нанослоя на поверхности катализатора возможна вследствие ионной бомбардировки, а внутренней поверхности пор за счёт рекомбинации ионов.

Обработка металлов и сплавов в ВЧ индукционной и емкостной плазме пониженного давления (Р=13,3 - 133 Па) является одним из перспективных способов улучшения их служебных характеристик. При этом возможно целенаправленное изменение свойств обрабатываемых материалов. Обработка в ВЧ-плазме приводит к изменению фазового состава и структуры твердых тел на микро и наноуровнях. Однако в настоящее время окончательно не установлена роль структурно-фазовых изменений, происходящих при обработке в ВЧ-плазме пониженного давления. В связи с этим определение причинно-следственной связи между параметрами ВЧ-обработки и структурными изменениями поверхностных слоев материалов актуальная задача и является целью данной работы.

Все эксперименты проводились на универсальной ВЧ плазменной установке, позволяющей проводить обработку различных материалов в индукционном и емкостном разрядах. ВЧ-установка состоит из источника питания высокочастотного генератора, блока согласования, вакуумного блока (вакуумная камера и система откачки), системы подачи плазмообразующего газа, аппаратуры контроля, диагностического оборудования.