Сумма аксиальных ионных потоков

В отличие от СФРП, в которой выходной плазменный поток направлен от оси системы к её периферии, в системе, разработанной в группе Саблева, радиальные потоки бескапельной плазмы направлены к оси, вдоль которой размещён обрабатываемый объект-подложка. В этом устройстве плазменные потоки, генерируемые катодными пятнами на наружной поверхности двух кольцевых катодов, направлены к стенкам цилиндрической камеры-анода. Под действием электрического поля, возникающего в электронно-замагниченной плазме, часть ионов меняет первоначальное направление движения на обратное и осаждается на отрицательно заряженной подложке. В системе не предусмотрены меры против рикошетирования МЧ от стенок камеры.

Тот же принцип, что и в патенте, использован в системе Сторера, предназначенной для осаждения покрытий на проволоку, оптические волокна и т. п. Здесь анодом служит набор стержней, размещённых наподобие беличьего колеса между катодами и стенкой цилиндрической камеры. МЧ, движущиеся к стенкам и отражённые от неё, поглощаются ловушкой, размещённой между анодом и камерой и имеющей вид пакета плоских колец.

Широкоапертурные L-образные фильтры. Анализ данных по эффективности транспортировки плазмы вдоль криволинейных магнитных полей показывает, что наиболее высокие результаты достигаются в случае системы с преобразованием аксиальных потоков в радиальный. Однако в ряде случаев применение такой системы представляет определённые неудобства. Поэтому достижение высокой эффективности традиционных систем, генерирующих аксиальный поток плазмы, продолжает оставаться актуальной проблемой. В связи с тем, что система, генерирующая радиальный поток плазмы, отличается от систем для формирования аксиальных потоков, главным образом, шириной плазмоведущего канала и аспектовым отношением Rla, представлялось целесообразным исследовать аксиальную систему с величиной Rla, мало отличающейся от того значения, которое характерно для радиальных систем. Основные результаты экспериментальных исследований такой системы могут быть сформулированы следующим образом.