Соучастницы столкновения

Наконец, самый существенный момент, определяющий возможность образования нитридов в газовой среде. Как утверждает Арзамасов Б. Н., процесс образования нитридов в результате непосредственного столкновения атомов железа и азота вообще физически невозможен. В принципе это положение верно в том смысле, что после образования молекулы нитрида, как следствия столкновения только двух исходных частиц, вновь образованная частица обладает значительной энергией, включающей помимо прочего и остаток кинетической энергии взаимного столкновения за вычетом энергии образования нитрида. Если эта энергия не будет передана третьей частице, то в следующем периоде колебаний молекула сразу же распадется. По существу можно было бы наблюдать циклически меняющиеся с частотой собственных колебаний молекулы ситуации образования и распада молекул нитридов. Роль третьей частицы могут выполнять или непосредственно поверхность, но для этого нитрид должен быть образован в результате столкновения с атомом поверхности, или распыленные ее фрагменты, тогда столкновение, образующее нитрид, может происходить и в газовой среде. Возможность распыления целого фрагмента поверхности вполне вероятна, особенно в случае, когда бомбардировка поверхности происходит под большими углами к нормали, а также, если учесть, что ЭСПП достигает в условиях установившегося АТР значений порядка нескольких десятков или даже сотни электрон-вольт, а в режиме очистки поверхности катодной бомбардировкой - до килоэлсктрон-вольта. Средние значения энергии частиц, входящих в падающий поток, по порядку величин подтверждаются данными, полученными при исследовании энергетического спектра.

Общий вывод из вышеприведенного анализа состоит в том, что процесс образования нитридов в принципе возможен, однако реально он по многим критериям, приведенным ранее, может происходить или в непосредственной близости от поверхности, или на самой поверхности.