Сильная ликвация

Полуфабрикаты и изделия, полученные из порошковых смесей, обладают более однородным химическим составом по объему, их фазовый состав можно легко регулировать вариацией технологических режимов спекания или синтеза. В большинстве случаев изделия, полученные из порошков, не нуждаются в последующей механической обработке, так как необходимую форму и размеры можно задать на стадии формования порошковых смесей.

HIP-технология позволяет получать практически беспористый материал, но из-за дороговизны и сложности оборудования в настоящее время ее применение ограничено. Элементный состав порошковых катодов, получаемых СВ-синтезом, довольно узкий, так как реакция синтеза возможна в порошковых смесях только определенного набора и процентного соотношения компонентов, которые обеспечивают достаточную термичность композиций. Технология СВС оказывается совершенно непригодной для изготовления катодов с малыми добавками второго компонента (например, кремния или меди к титану). Для массового производства многокомпонентных распыляемых катодов с минимальными удельными затратами наиболее пригодна технология, основанная на холодном прессовании и спекании порошковых смесей. Однако в производстве распыляемых мишеней для плазменного синтеза покрытий в настоящее время эта технология практически не применяется. Основная причина - практически полное отсутствие исследований структуры и свойств спеченных композиций указанных выше систем. По причине объемного роста при спекании двойные и тройные сплавы на основе титана применяются, в основном, в качестве фильтров. Соответственно в литературе имеются лишь отрывочные сведения о спеченных порошковых композитах на основе титана с составами, представляющими интерес с точки зрения использования в качестве распыляемых катодов. Требуется проведение научных исследований процессов формирования структуры и свойств при спекании с целью поиска новых технологических решений, обеспечивающих высокое качество материала мишеней.