Сервисные функции

Решение этих задач возлагается на программное обеспечение промышленного компьютера, в процессную модель заложено достаточно управляющих и управляемых сигналов для получения полной информации о ходе процесса. Таким образом, оператор может получать полную информацию о состоянии установки в реальном режиме времени.

Процесс нанесения тонких пленок, например, методом термического испарения, зависит от следующих факторов: тока, пропускаемого через испаритель, влияющего на скорость испарения и, следовательно, на скорость осаждения материала тонкой пленки на подложку; времени осаждения, определяющего толщину наносимой пленки; температуры подложки; рабочего давления в камере.

Ток испарителя оператор при необходимости может регулировать вручную или автоматически, посредством задания необходимой мощности, подаваемой на испаритель с программируемого блока питания ZUP36-12, установленного на установке.

Время осаждения, которое является критерием окончания процесса нанесения, вводится с клавиатуры и записывается в управляющей программе. Оно задастся до начала процесса нанесения и обеспечивается автоматически.

Регулирование температуры подложки осуществляется путём ввода необходимого значения с клавиатуры и записи его в управляющую программу. Далее необходимое напряжение подаётся на нагреватель подложкодержателя и автоматически поддерживается на заданном уровне.

При нанесении тонких пленок методами, требующими наличие рабочего газа, например магнетронным распылением, регулирование рабочего давления в камере производится с помощью управляющей программы регулятором расхода газа РРПО и клапаном QVA025.

Эксперименты по нанесению пленок Ni, Sn, Bi, Си и Pb проводились на разработанной установке методом термического испарения.

Устройство представляет собой две пластины, прижимаемые друг к другу пружинами. Верхняя пластина с резиновым прижимом посредством прижимных пружин прижимает подложку с измеряемой плёнкой к контактам. Винты служат для отвода верхней пластины при установке и выгрузке образца.