Результаты рентгеновской флуоресцентной спектроскопии

На них присутствует гало в области углов 29 27-28 град, и узкие интенсивные линии, соответствующие отражениям от подложки. В связи с этим большая часть исследований проводилась с использованием съемок в скользящей схеме дифракции. Фазовый анализ показал, что во всех исследованных пленках выявляется нитрид A1N с гексагональной структурой типа вюрцит. В пленках, при изготовлении которых поверхность подложки очищалась бомбардировкой ионами титана, наряду с нитридной пленкой выявляется подслой a-Ti с ГПУ-структурой. В образцах, при получении которых использовалась бомбардировка ионами А1, подслой алюминия не выявляется. Анализ уширения дифракционных линий с использованием соотношения Селякова-Шеррера и учетом дефокусировки при скользящих съемках свидетельствует, что исследованные пленки имеют нанокристаллическую структуру. Размер областей когерентного рассеяния A1N составляет 10-20 нм.

На дифрактограммах, полученных в скользящей схеме, наблюдаются все отражения, характерные для структуры A1N. Соотношение интегральных интенсивностей дифракционных линий на большей части дифрактограмм сильно отличается от значений, приведенных в картотеке Powder Diffraction File для порошкового нетекстурированного образца (№ 25-1133), согласно которым наиболее интенсивной является линия. Так на дифрактограммах пленок, осажденных на металлические подложки, наиболее интенсивными оказываются отражения или отражение. Это связано с наличием в пленках текстуры аксиального типа.

При анализе хода рентгеновских лучей в скользящих съемках и углов между кристаллографическими плоскостями решетки A1N установлено, что при нормальном падении и высоком энергетическом воздействии осаждаемого потока на растущий конденсат в пленках формируется преимущественная ориентация кристаллитов плоскостями параллельно поверхности пленки, т. е. формируется текстура с осью.