Постоянный ток дугового разряда

Система управления, регистрации и обработки данных производилась с использованием блока БУИП авторской (Соболь) разработки.

Распределение для случая обоих действующих одновременно источников плазмы в высоком вакууме напоминает сумму распределений для отдельных потоков. Общее снижение скорости роста толщины конденсата по всей ширине кольцевого проёма с ростом плотности аргоновой атмосферы может быть объяснено распыляющим действием ионов аргона на конденсат. Самая высокая скорость роста покрытия была в экспериментах с азотом без добавки аргона. Роль распыляющего действия тяжёлых ионов аргона в значительном снижении скорости осаждения покрытий подтверждают результаты экспериментов с гелием в качестве рабочего газа. При всех других равных условиях величина для гелия была в несколько раз выше высокой, чем для аргона. Следует отметить, что при более низкой плотности аргоновой среды, как показано, можно было бы ожидать зависимости от давления аргона, противоположной той, которая описана выше. Однако в наших экспериментах важно было получить как можно более равномерное распределение даже пожертвовав возможностью получения в несколько раз более высокой скорости осаждения. Таким образом, измерения распределения концентраций титана (Ст,) и алюминия (CAi) в покрытии вдоль проводились при давлении р = 5-103 Торр и для сравнения в относительно высоком вакууме (р - 610 6 Торр), когда действием остаточных газов можно было пренебречь.

В вакууме распределения концентраций элементов вдоль имеют такой же характер, что и кривые распределения скорости конденсации для каждого из них в том же вакуум. Можно предположить, что в отсутствие газовой мишени потоки плазмы с противоположных источников пронизывают друг друга, не смешиваясь, и превращаются в радиальные потоки, главным образом, со стороны анода противоположного источника. Именно там каждый из потоков наталкивается на тормозящее действие соответствующего магнитоэлектрического зеркала, и аксиальное движение плазмы трансформируется в радиальное. В присутствии аргона распределение содержания металлов кардинально изменяется: максимум концентрации титана смещается ближе к выходу источника титановой плазмы, а алюминия в центре системы почти нет.