Плотное вакуумно-дуговое покрытие

Таким образом, вакуумно-дуговые высокопористые покрытия из вольфрама, полученные испарением катода при повышенном давлении аргона, не только имеют высокую эрозионную стойкость, адгезию и прочность, но и обеспечивают подачу больших потока водорода. Это может служить весомым аргументом при выборе защитных покрытий диффузионных мембран для контроля рециклинга изотопов водорода в установках синтеза.

Высокопористые вакуумно-дуговые покрытия вольфрама с высокой прочностью и адгезией образуются при давлениях рабочего газа (аргона) более 10 Па. В этих условиях потенциал подложки, при котором распыляется весь осаждающийся вольфрам, не распыляя подложку, составляет около - 170 В.

Равномерность толщины таких пористых покрытий достаточно высока из-за рассеяния атомов вольфрама на атомах аргона.

Скорость эрозия пористых вольфрамовых покрытий при воздействии плазмы практически не отличается от таковой для плотных покрытий.

Проницаемость пористых W-покрытий по водороду существенно выше, чем плотных и в некоторых случаях может достигать проницаемости чистого палладия.

Покрытия на основе нитридов и карбидов металлов являются одними из наиболее распространенных объектов, которые получают вакуумно-дуговым способом. Эти соединения синтезируют путем осаждения продуктов эрозии металлических катодов в атмосфере реакционных газов. Тонкие пленки нитрида алюминия являются перспективным материалом для создания упрочняющих покрытий и оптоэлектронных изделий, поскольку обладают рядом уникальных свойств: высокой твердостью, химической стойкостью, высокими диэлектрическими и акустическими свойствами. Однако интенсивное использование таких пленок сдерживается рядом нерешенных проблем, связанных с качеством покрытий.