Питание соленоида

В последние годы широкую известность приобрёл спиральный фильтр (twist filter), который можно рассматривать как разновидность 5-образного фильтра, и отличающийся от последнего тем, что составляющие его криволинейные участки изогнуты в разных плоскостях. По мнению разработчиков (Key Ши и др.), эта особенность фильтра способствует более эффективному подавлению макрочастиц в потоке фильтруемой плазмы. Коммерческая установка со спиральным фильтром демонстрировалась в 2002 г. на выставке Международной конференции ICMCTF-2002 в Сан-Диего (США).

Источник с фильтром куполообразного типа предложен Фалабеллой и Сандерсом. Идея заключается в следующем. Внутри куполообразной камеры со стороны её свода и сносно с ней размещен цилиндрический катод с боковой рабочей поверхностью. С противоположной стороны камеры напротив торца катода размещена подложка. Магнитные катушки создают в камере аксиально-симметричное поле с пробкой у её свода. Плазменный поток, первоначально движущийся в радиальном направлении, разворачивается магнитным полем на 90° и движется вдоль поля на подложку. Возможность движения макрочастиц в ту же сторону блокируется экраном, размещенным у торца катода со стороны подложки. Системный коэффициент устройства достаточно высок и составляет 3,5%. Сведений о практическом использовании источника нет.

Отличие состоит в том, что со стороны свода куполообразного корпуса в нём нет катушек для создания отражающего магнитного поля, рабочей поверхностью цилиндрического катода является торец, обращенный к своду купола. В такой системе нет видимых причин, которые заставляли бы поток плазмы, движущийся от торца катода в сторону днища корпуса (свода купола), изменить направление движения на 180° (к подложке). Таким образом, источник в том виде, как он запатентован автором и воспроизведён на нашем рисунке, является неработоспособным.