Первый диапазон давлений

Из него следует, что синтез нитридсодержащих фаз имеет особенности протекания в различных диапазонах давлений реакционного газа. Условно всю область исследуемых давлений можно разбить на три диапазона. Первый диапазон давлений реакционного газа обнаруживается от предельного фонового давления остаточных газов, которое составляло 6,6103 Па, до давления азота 6102 Па. В этом диапазоне давлений, по данным рентгенофазового анализа, происходит легирование конденсатов молибдена азотом с образованием пересыщенных твердых растворов внедрения азота в кристаллической ОЦК-решетке молибдена (а-Мо). С приближением давления азота к границе первого диапазона из пересыщенного твердого раствора внедрения начинает выделяться высокотемпературная фаза нитрида молибдена y-Mo2N.

Отличительной особенностью вакуумно-дугового осаждения является отсутствие достаточно гибкой регулировки плотности плазменного потока в процессе формирования покрытия. Поэтому в проведенных экспериментах вакуумно-дуговое осаждение молибдена и нитридных покрытий на его основе происходило в стационарном режиме со средней скоростью около 3 нмс. Конденсируемый поток в отсутствие азота является многокомпонентной смесью, состоящей из ионов различной зарядности, нейтральных и возбужденных атомов, а также микрочастиц молибдена, который после конденсации представляет собой консолидированный металлический конденсат. Поэтому основным параметром управления процессом синтеза нитридных фаз являются вариации давления реакционного газа азота относительно стационарного потока молибдена конденсирующегося на подложку. С этой целью в область вакуумно-дугового разряда, генерируемого в парах молибдена, напускается азот. В этих условиях поток плазмы начинает взаимодействовать с молекулами азота.