Периодичность слоев

Характеризуется она наличием капель испаряемых металлов (Ti, Cr) как слабо закрепленных на поверхности, так и замурованных в объеме покрытия. Распределение их по размерам, по поверхности неоднородно и определяется природой испаряемого материала, условиями осаждения. При увеличении энергии ионов осаждаемых потоков, определяемой ускоряющим потенциалом подложки, количество капель уменьшается, формируемся ячеистая структура, которая выявляется вследствие ионного травления в процессе конденсации. Размер ячеек уменьшается с увеличением давления азота при конденсации, находясь в пределах от долей до единиц микрометров. Покрытия, получаемые в области давлений Pn = 0.1 Па, обладают нанослойной структурой. Периодичность слоев (ламелей) - 20 нм практически совпадает с расчетными значениям. Слоистый характер структуры таких покрытий проявляется, в частности, в результате эрозионных испытаний, аналогичных описанным, в условиях воздействия воздушно-пылевого потока. Очагами разрушения, как правило, являются инородные включения, капли.

Зависимости от U сжимающих макронапряжений (а) для покрытий, осаждаемых при = 0 и 35 Э, также имеют немонотонный характер с минимальными значениями при U = 200В.

Немонотонный характер зависимостей с максимумами в интервале 400 - 500°С является следствием фазового упрочнения в результате распада неравновесных твердых растворов, метастабильных фаз.

Относительно малая интенсивность, размытость дифракционных максимумов свидетельствуют о неоднородности твердых растворов, наличии нанокристаллической структуры и высокого уровня микроискажений. Среднее значение параметра составляет 0,4236 нм, микротвердость Ну = 23 ГПа. Фазово-структурные изменения на стадии отжига при 400 - 500°С обусловливают повышение микротвердости до 27 ГПа, что является следствием увеличения уровня микроискажений решеток фаз, составляющих покрытие.