Параметры осаждения

Изучено влияние на свойства покрытий давления азота, ускоряющего потенциала, напряженности фокусирующего магнитного поля.

Параметры осаждения выбраны на основе модели расчета скоростей (толщины) покрытий, обеспечивающих формирование слоистой структуры с толщиной ламелей 20 нм и соотношением толщины слоев на основе TiN и CrN-2: 1, что по данным, обеспечивает максимально высокие физико-механические и служебные характеристики получаемых покрытий.

Перераспределение соотношения содержания фаз в покрытиях с повышением Pn является результатом преимущественного синтеза нитридов титана по сравнению с нитридами хрома вследствие более высокого сродства титана с азотом. Размытие дифракционных максимумов составляющих покрытие фаз, их относительно малые интенсивности являются следствием наноструктурного состояния, высокого уровня микроискажений и переменного состава соединений обусловленного их взаимным растворением.

Одной из основных причин снижения покрытий по сравнению с Ti - N является образование твердых растворов TixCr. xN. При этом замещение части атомов Ti в решетке TiN атомами приводит к перераспределению ионно-ковалентно-металлических связей, присущих нитридам переходных металлов, обусловливая их ослабление в соответствии с закономерностью, наблюдаемой при переходе от нитридов к нитридам VI группы периодической системы элементов.

Морфология поверхности покрытий, получаемых в условиях вращения плоскости конденсации относительно источников плазменных потоков, аналогична получаемым в стационарных условиях осаждения.