Падающий поток

Именно эта зона энергий наиболее продуктивна с точки зрения соответствия значениям диссоциации молекул азота, рекомбинации, образования нитридов, так как значительно большие энергетические уровни, характерные для ионов, способствуют в большей мере процессам распыления.

Как следствие вышеприведенного анализа, сформулирована энергетическая модель АТР.

Приведенные данные свидетельствуют о весьма вероятной сплошности адсорбционного монослоя. Конечно, это не исключает наличия с учетом десорбции, вызванной высокой температурой поверхности, а также ударного воздействия падающего потока локальных пятен чистой поверхности. На роль адсорбционного слоя указывает тот факт, что без предварительной очистки поверхности катодной бомбардировкой от окисных и иных пленок, препятствующих адсорбции азота или другого элемента, способного образовывать диффундиды, ни о каком последующем азотировании речи быть не может. Аналогично, если в газовой среде содержится более 1% кислорода, то результатом обработки будет оксидирование.

В последнем случае возможны процессы образования и преобразования нитридов. Падающий поток стимулирует ионно-электронную эмиссию, нагрев поверхности и, как его следствие, - термоэлектронную эмиссию. В газовой среде возможны процессы диссоциации молекул азота электронным ударом с последующей ионизацией атомов азота. Другой вариант образования атомов азота состоит в рекомбинации молекул непосредственно на поверхности с последующей их диссоциацией. Наконец, третий путь образования атомарного азота состоит в ионизации молекул, находящихся в адсорбционном слое, вследствие столкновения с ними частиц падающего потока, последующей рекомбинации и диссоциации. Следует учесть, что расчеты показывают - поверхность играет роль катализатора диссоциативных процессов, при этом энергия диссоциации уменьшается практически в 2,5 раза.