Осаждение кремнийорганических слоев

Используется термическое испарение алюминия - до 20 вольфрамовых спиралей.

Осаждение кремнийорганических слоев осуществляется в ВЧ-разряде (13,56 мГц) и обеспечивает защиту алюминиевого слоя от воздействия окружающей среды. Бачок с кремнийорганической жидкостью имеет систему поддержания заданной температуры и систему регулирования подачи паров в вакуумную камеру.

Бачок с кремнийорганической жидкостью имеет систему поддержания заданной температуры и систему регулирования подачи паров в вакуумную камеру. Возможно ручное и полностью автоматическое проведение цикла нанесения покрытия.

Установка имеет два комплекта барабанов на откатных тележках. Тележки имеют электрический привод, питаемый от аккумуляторов.

Для измерения давления используются отечественные датчики ДВТ и ДВЭ с преобразователями ПМТ-6-3 и ПМИ-32 соответственно.

Источником питания ВЧ-разряда является генератор УВ-1 мощностью 1 кВт.

Вторая установка ВАТТ 1600-4ДК, предназначена для нанесения комбинированного покрытия, которое может состоять из слоя металла, слоя соединения этого металла (оксид, нитрид, карбид) и слоя SiOx.

В конструкции этой установки использован ряд новых конструктивных решений.

Во-первых, использованы клапаны, затворы с пневмоприводом. Пневмопривод применен для затворов ЗВЭ-400 и клапанов Ду 25, 63, 100. Был проведен анализ имеющегося опыта подобных доработок, и разработана своя конструкторская документация. Сейчас, можно сказать, что приложенные усилия себя оправдали.

Клапаны и затворы работают плавно, без заеданий и сбоев.

Пневмопривод использован во всех системах, кроме привода вращения барабана.

Во-вторых, в соответствии с европейскими требованиями использована система кабель-каналов, размещенных над установкой.