Общее снижение скорости

Последнее пока что можно объяснить только тем, что скорость конденсации алюминия в этой области равна скорости его распыления ионами аргона. Наличие хрома в спектрах покрытий, скорее всего, можно объяснить влиянием основы образцов: в экспериментах, были использованы образцы из нержавеющей стали, содержащей хром. В других описанных выше экспериментах образцы изготавливались из углеродистой стали, не содержащей хрома.

Замена аргона более лёгкими азотом, гелием или смесью N + Аг с малым содержанием аргона ведёт к значительному повышению концентрации алюминия для всех. При осаждении покрытий в присутствии азота концентрации обоих металлов в них почти выравниваются по кольцевой области шириной Az 10 см, что соответствует площади осаждаемого в этой области покрытия Az-2kR 1100 см2. Концентрация алюминия в покрытии на основе (Ti, Al)N, которое осаждается в данной области, колеблется в пределах (44 - 50) ат. Понятно, что диапазон вариаций для более узкой кольцевой зоны конденсации значительно меньше: для Az 8 см концентрация варьирует в диапазоне (44 - 46) ат.%.

При использовании гелия в качестве рабочего газа, может быть получено двухкомпонентное металлическое покрытие такой же, как в предыдущем случае, площади с содержанием алюминия (30 - 40) ат.

Для фазового анализа были изготовлены образцы покрытий на подложках из медной фольги толщиной 100 нм. При осаждении покрытий экран в центре системы был удалён. Количественные отличия обусловлены несовпадением давлений газов в экспериментах и отсутствием упомянутого экрана. Для серии образцов, полученных в аргоне, характерна примерно та же структура, что и для образцов, полученных в вакууме. Однако содержание фазы переменного состава АУЛ несколько выше и достигает 20 об.

Предполагаемая схема размещения кристаллитов разных фаз в покрытиях такова: более крупные нанокристаллиты нитридов алюминия и титана равномерно распределены по толщине покрытия и демпфированы областями фаз переменного состава (AlxTi-v)N со значительно меньшими размерами областей кристаллического упорядочения.