Образцы в виде полосок

В работе для получения покрытий применялась триодная схема ионно-плазменного распыления, при которой в вакуумный объем помещается анод, вольфрамовый катод и третий электрод, которым служит мишень, используемая в качестве источника распыляемого материала. В качестве мишени использовались горячепрессованная керамика монокарбида вольфрама стехиометрического состава и боридная керамика квазибинарного состава W2B5 - 80 об. %, TiB2 - 20 об. %.

В применяемой схеме подложка является электродом, на поверхности которого конденсируется распыляемый материал. После нанесения покрытий на образцах-свидетелях (ситапловые подложки) измерялась толщина пленок на унтер-ферометре МИИ-4 с точностью 20 нм.

В качестве подложек для исследования упругопластических характеристик материала были использованы прокатанные и отожженные медные фольги. Медь в качестве подложки была выбрана из-за низкой диффузионной активности к материалам осаждаемых конденсатов. Температура отжига составляла 400 °С, что по литературным данным соответствует температуре рекристаллизации чистой меди.

Образцы в виде полосок изготавливались следующим образом. На неотожженных фольгах различной толщины делалась разметка, и вырезались полоски шириной 5мм, длиной 50мм. После обработки (шлифования) краев образцы подвергались рекристаллизационному отжигу. Затем на образцы наносились покрытия способом ионно-плазменного напыления и проводился отжиг в вакууме образцов при температуре 500°С в течение 30 мин. Далее измерялись размеры образцов. Толщина измерялась на индикаторном столике с точностью до 1 мкм. Ширина измерялась с помощью измерительного микроскопа с точностью до 0.01 мм.

В результате были изготовлены серии идентичных образцов с покрытиями толщиной 0.1... 1 мкм для структурных и механических исследований. Таким образом, образцы представляли композицию из пластичной основы с прочной гладкой пленкой-покрытием.