Низкая степень ионизации

Модель имеет несколько спорных моментов. Первым из них является фундаментальный принцип вероятности образования нитридов путем столкновения двух атомов азота и железа в газовой среде, возможность которого без всяких компромиссов отрицает Арзамасов Б. Н.

Прежде всего, необходимо исследовать возможность столкновения двух атомов азота и железа в газовой среде с точки зрения наличия их там. Атомы распыленного железа, как показали исследования, фиксировались на расстоянии до 45 мм от поверхности. Учитывая, что при типовых параметрах технологии АТР ширина области катодного падения (ОКП), где собственно и происходят все элементарные процессы АТР, составляет 2-5 мм, можно утверждать, что этот компонент нитридов присутствует в предпочтительной зоне столкновений. Атомы азота в газовой среде могут образовываться одним из четырех путей: в результате термического разложения молекул, однако для этого температура газа в типовых процессах АТР слишком мала; в результате рекомбинации атомарных ионов, как следствия столкновения с электроном, однако сечение этого процесса в газе на 6-12 порядком меньше сечения ионизации (причиной тому является низкая степень ионизации ТЭРГ, по порядку величин, что позволяет сделать вывод о его несущественном значении; в результате диссоциативной рекомбинации при столкновении молекулярных ионов с электроном по схеме e+N2 =N+N (эта схема типична для молекулярных ионов азота, так как рекомбинировавшая молекула азота обладает энергией, превышающей энергию стабильного состояния нейтральных атомов более чем в два раза, и неизбежно должна диссоциировать на два атома), однако сечение этого подпроцесса примерно на пять порядков меньше сечения ионизации, что также позволяет сделать заключение о ее несущественном влияя-нии; в результате диссоциации молекул электронным ударом, причем сечение этого подпроцесса примерно составляет 25-30% от сечения иониизации.