Низкая проводимость кремния

Испытания (определение характеристик) катодов были проведены с использованием методик, описанных ранее.

Для проведения экспериментов использовался вакуумно-дуговой источник плазмы с автостабилизацией катодного пятна дуги на рабочей поверхности катода. Для регулировки величины и конфигурации магнитного поля на торцевой поверхности катода в данных экспериментах использовалась дополнительная катушка, размещенная вокруг катодного узла испарителя. Наблюдение за перемещением катодного пятна на рабочей поверхности катода осуществлялось через смотровое окно с помощью зеркала, установленного внутри вакуумной камеры напротив катода под соответствующим углом по отношению к смотровому окну. В качестве рабочего газа использовался аргон. Стабильность горения дуги измерялась по числу погасаний в единицу времени при различных давлениях газа в вакуумной камере.

В процессе испытаний каждого из катодов определяли характеристики горения вакуумно-дугового разряда при фиксированном давлении аргона в диапазоне 3-105 - 3-104 Торр. Измеряли ток разряда, падение напряжения на разряде, выходной ионный ток вакуумно-дугового источника плазмы, а также среднее число погасаний разряда в единицу времени. Выходной ионный ток вакуумно-дугового источника плазмы измерялся на коллектор, расположенный на расстоянии 330 мм от рабочей поверхности катода.

Кроме того, проводилось визуальное наблюдение рабочей поверхности катода в процессе горения разряда.

Двухкомпонентные углеродкремниевые покрытия наносились на образцы, которые представляли собой пластины из монокристаллического кремния n-типа. Диаметр пластины составлял 75 мм, толщина - 0.3 мм.

Предварительная подготовка поверхности образца включала очистку ионами аргона в ВЧ-разряде в течение 6 мин. Амплитуда ВЧ-напряжения составляла 1.3 кВ, давление аргона.