Немонотонный характер

Релаксация этих напряжений в результате отжига при 500 - 600°С приводит к снижению и стабилизации Ну на уровне 23 ГПа, который не изменяется и после отжига при 800°С. Наблюдается слабая текстура. Значения параметра решетки TixCri xN а = 0.4220 нм свидетельствуют о более высоком содержании Сг по сравнению с покрытиями, полученными при меньших давлениях азота.

Аналогичный, немонотонный характер зависимостей Ну от То установлен нами ранее при отжиге Сг - N-покрытий, полученных на основе используемого в настоящей работе сплава Сг. В то время как отжиг Ti - Сг - N-покрытий на основе высокочистых исходных материалов так же, как и TiN-покрытий, обусловливает монотонное снижение значений, уровня мнкроискажений с повышением температуры отжига. Это дает основание утверждать, что немонотонный характер зависимостей, наблюдаемый в настоящей работе, может быть обусловлен наличием не только нитридных фаз на основе Сг, но и легирующих добавок, а также образованием неравновесных, неоднородных твердых растворов на их основе в процессе конденсации и распада при отжиге.

При этом максимальные значения Ну, соответствующие Т0 = 500°С, возрастают с увеличением U и Тк.

В заданных условиях конденсации обеспечивается формирование стехиометрического состава TiN-слоев, микротвердость которых практически не зависит от U и Тк, составляя величину Ну = 22-2 ГПа.

В то же время нами показано, что фазовый состав и структурное состояние монофазных покрытий.

Это является одним из основных факторов, определяющих как фазовый состав, исходные значения формируемых слоистых TiN - CrN-покрытий, так и характер зависимости. Наряду с этим существенное значение в изменении структурно-фазового состояния, а следовательно, и имеют эффекты, связанные с радиационно - и термически стимулируемыми процессами, сопровождаемыми распадом неравновесных твердых растворов, метастабильных фаз, а также образованием твердых растворов на основе взаимно растворимых нитридов на границе раздела слоев.