Нагрев подложки пленки борида тантала

Нагрев подложки во всех случаях приводил к существенному улучшению адгезии и уменьшению уровня макронапряжений, что позволило синтезировать пленки толщиной до 2 мкм без нарушения их целостности.

Исследование физико-механических свойств показало значительное различие характеристик пленок, полученных при различных потенциалах смещения и имеющих различную структуру и фазовый состав. В таблице приведены результаты наноиндентирования (в первой строке - результаты испытания подложки).

Текстурированные покрытия со столбчатой структурой имели нано - и микротвердость в пределах 32 - 44 ГПа, причем сверхстехиометрические по составу пленки имели более высокую микротвердость, относительно невысокий модуль упругости и достаточно высокую пластичность. Нетекстурированные покрытия, синтезированные при подаче отрицательного потенциала смещения, по своим физико-механическим характеристикам существенно отличались от покрытий, описанных выше. Нано - и микротвердость оказалась ниже, чем для массивных образцов стехиометрического состава. Известно, что с ростом дефектности структуры соединений переходных металлов с неметаллами в массивном состоянии, связанном в первую очередь с дефектностью, обусловленной дефицитом немееталлических атомов, их твердость снижается, что, на наш взгляд, косвенным образом также подтверждает достехиомстрический состав синтезированных пленок.

Результаты проведенных исследований показали возможность формирования в одной системе тонких пленок с различным фазовым составом и структурой: достехиометрических и сверхстехио-метрических, нетекстурированных и текстурированных, и, в конечном итоге, возможность прогнозирования и управления физико-механическими свойствами синтезируемых покрытий.

Поиск новых высокопроводящих твердых электролитов со структурой типа и большой концентрацией точечных дефектов в жесткой подрешетке стимулировал исследования по влиянию примесей на ионную проводимость, фазовые переходы и другие физические свойства суперионных проводников.