Материал мишени

При соединении деталей составного катода сваркой или при некачественной пайке затрудняется теплоотвода от рабочей части катода к водоохлаждаемой тыльной поверхности. Качественная пайка катодов припоями с достаточно высокой температурой плавления особенно важна при их использовании для вакуумно-дугового распыления, при котором происходит сильный разогрев рабочей поверхности катодов.

Кроме остаточной пористости необходимо тщательно контролировать микроструктуру и фазовый состав распыляемых мишеней. Это важно по следующим причинам. Во-первых, материал мишени не должен, по возможности, содержать легкоплавких фаз. При дуговом распылении катода, содержащего легкоплавкие фазы, образуется множество капель жидкого металла, которые осаждаются на поверхность подложки и ухудшают качество покрытия. Во-вторых, при вакуумно-дуговом распылении мишени, в структуре которой имеется несколько фаз с различным химическим составом, элементный состав плазмы в кратере дугового разряда может зависеть от локального фазового и химического состава поверхности мишени, если размер включений фаз окажется соизмеримым с диаметром пятна дугового разряда. Однако вопрос о том, как фазовая неоднородность распыляемых мишеней влияет на характеристики плазмы и качество осаждаемых из плазмы покрытий в настоящее время остается открытым. Гетерофазная структура многокомпонентных мишеней должна приводить к дополнительным структурным напряжениям в условиях циклического нагрева и охлаждения, особенно при вакуумно-дуговом распылении мишеней. Поэтому возможное влияние этих напряжений на упругопластическое поведение материала мишеней при их распылении также необходимо учитывать.