Конструкция установок

Конструкция установок типа Булат предусматривает размещение упрочняемых изделий на поверхности вращения (подложкодержатсль) различного радиуса (г), а следовательно, и расстояния до испарителей. Оно может быть изменено в пределах геометрических размеров камеры.

При этом в процессе вращения поверхность изделия проходит поочередно зоны под действующими испарителями. В зависимости от расстояния до испарителя, скорости вращения, количества работающих испарителей, материала катода испарителей на поверхности изделия будут осаждаться соответствующие слои. В случае конденсации вещества на вращающуюся единичную поверхность, расположенную от оси камеры на расстоянии г, при одновременно работающих трех испарителях, находящихся на окружности радиуса г, существуют: теневая область пространства, в которой не происходит конденсация прямого потока вещества, области, в которых происходит конденсация вещества, испаряемого только одним испарителем, а также области, где перекрываются с разной степенью потоки от двух испарителей.

Анализ полученных результатов свидетельствует о том, что на установках типа Булат можно в широких пределах изменять соотношение толщин слоев в покрытии за счет изменения параметров, и, таким образом, конструировать необходимые слоистые структуры. В частности, в рассмотренном случае для условий эксперимента, близких к реализуемым на установках Булат при = 0,5 и принятых скоростях конденсации, формируется слоистая структура. При этом наблюдается особенность в получаемых структурах, обусловленная существующей конструкцией установки: геометрическое расположение испарителей, угловое расстояние между которыми составляет величину. Это обусловливает существование мертвого пространства при конденсации, что эквивалентно паузе в процессе конденсации на выбранную поверхность. Роль этой паузы при конденсации из 1 и 3 источников одинакового металла (например, титан) или тем более разнородных металлов сводится к формированию границы раздела между соответствующими слоями. Величина этой паузы определяется отношением и скоростью вращения подложкодержателя.