Классический фильтр

Додоновым с сотрудниками разработан тороидальный фильтр с поворотом плазменного потока на 120°. При постоянном токе дуги 200 А системный коэффициент плазменного источника с таким фильтром составляет около 3,7%. Сильноточный импульсный источник, оснащённый фильтром с углом изгиба тороидального плазмовода 120° описан в работе. Источник используется в оборудовании для осаждения сверхтонких углеродных покрытий на жёсткие диски памяти и магнитные головки записи и считывания. С целью улучшения условий прохождения плазмы через фильтр Мартин и др. предложили вариант устройства с плазмоводом, изогнутым всего на 45°. Такая мера позволила в режиме постоянного тока поднять значение системного коэффициента до 2,5% . Аналогичное устройство с поворотом плазменного потока на 45° предложено Йонгкук Кимом. Отличие этого устройства от предыдущего состоит в том, что для коррекции магнитного поля на изгибе плазмовода размещён дополнительный электромагнит.

Фильтр коленного типа предложен Фалабеллой и Сандерсом. Плазмовод фильтра состоит из двух прямых труб, состыкованных друг с другом под углом 45°. Диаметр и длина плазмоведущего канала выбраны так, что даже при таком малом угле изгиба прямая видимость между катодом и подложкой отсутствует. Системный коэффициент эффективности составляет 3%. По сведениям, приведенным, плазменный источник с таким фильтром используется в коммерческих целях.

Фильтр сегментного типа для сильноточного импульсного источника плазмы разработан и исследован в Национальной лаборатории Беркли Калифорнийского университета совместно с группой специалистов Фраунгоферовского института лучевых технологий (Дрезден). Фильтр имеет сегментную конструкцию. Каждый сегмент представляет собой изогнутый на 30° трубчатый плазмовод с магнитной катушкой. Последовательно соединяя различное количество сегментов можно осуществлять поворот плазменного потока на 30°, 60°, 90°, и т. д.