Клапаны и затворы

В третьих, применен пленарный дуговой распылитель длиной 3 м, с системой, обеспечивающей возвратно-поступательное движение катодных пятен.

Дуговой распылитель расположен в кармане в верхней части камеры. Карман имеет фланцы для ввода питания и охлаждения дугового распылителя с защитными экранами. Анодом является вакуумная камера. На наружной поверхности кармана закреплена трубка охлаждения. Карман и цилиндрическая обечайка имеют ребра жесткости.

Перемещение катодных пятен и их стабилизация на рабочей поверхности катода осуществляется магнитным полем тока, протекающего по сечению катода в направлении к одному из токоподводов.

Возвратно-поступательное движение катодных пятен вдоль катода осуществляется за счет датчиков крайних положений катодных пятен. При перемещении катодных пятен до датчика положения формируется электрический сигнал и происходит переключение коммутатора на противоположный токоподвод. Катодные пятна начинают движение в его сторону до противоположного датчика.

Для дополнительной стабилизации катодных пятен катод окружен экраном.

С внутренней, цилиндрической части камеры карман имеет заслонку, которая предотвращает попадание в карман и осаждение на его внутренних элементах и дуговом распылителе паров КОС. Внутри кармана расположены трубки напуска реактивного газа.

Нанесение кремнийорганического слоя SiOx производится в ВЧ-разряде - 20-40 кГц, 400-1000В, который зажигается между барабаном с изделиями и антенной, расположенной в центре камеры.

Для питания дугового распылителя используется сварочный трансформатор Sirion 400.

Все силовые элементы установки, включая блок управления дугой и блок питания ВЧ-разряда, расположены в шкафу управления.

Внутри камеры расположены направляющие для размещения внутрикамерной тележки с барабаном.