Использование импульсов

Из кривых следует, что при электрическая прочность на прямоугольном импульсе с бесконечно коротким фронтом в четыре раза меньше прочности на косоугольной волне напряжения. При прочность возрастает по мер приближения длительности импульса к длительности фронта. При Е0 = const время запаздывания на косоугольной волне превышает на порядок величины время запаздывания на прямоугольном импульсе.

Кривые характеризуют максимальную электрическую прочность, достижимую в результате оптимальных режимов импульсного кондиционирования. Однако кривые, построенные с помощью выражений справедливы лишь в наносекундном диапазоне и не могут быть использованы для импульсов большей длительности.

Для построения зависимостей, соответствующих более широкому диапазону длительностей, были проанализированы экспериментальные данные по запаздыванию пробоя. Данные получены на косоугольных и прямоугольных импульсах напряжения длительностью 103 с для электродов из нержавеющей стали и меди. Эксперименты с медными электродами выполнены на установке.

В результате анализа установлено, что при tt = const электрическая прочность на косоугольной волне превышает прочность на прямоугольном

Для ускорения ионов к поверхности подложек в вакуумно-дуговых процессах нанесения покрытий или плазменной ионной имплантации на подложки подают отрицательное напряжение смещения. Напряжение целесообразно подвергать импульсной модуля, чтобы предотвратить дугообразование на подложках и обеспечить регулирование тепловой нагрузки без снижения величины смещения. Для получения импульсов необходимы модуляторы, способные надёжно работать с такой специфической нагрузкой, как подложка, контактирующая с плазмой вакуумно-дугового разряда.

Ионный ток подложек в мощных плазменных устройствах обычно сильно флуктуирует с амплитудой, достигающей десятки процентов.