Интенсивность нагрева

По оценкам XRR и эллипсометрии толщина пленок составляет 50-230 нм. По данным измерений содержание кремния в полученных покрытиях не соответствует в точности элементному составу катодов, из материала которых эти покрытия осаждались. Данные XRR по концентрации кремния в покрытиях хорошо совпадают с данными эллипсометрии.

Модель была построена из пяти последовательных слоев: подложка-кремний, естественный окисел (15 А), металлический слой (медь) (металлическое загрязнение было найдено в образце №3), a-Si-слой, и а-С-слой. Каждый слой в модели был связан с некоторой шероховатостью. Подгоночными параметрами были толщина каждого слоя (кроме естественного окисла) и поверхностная шероховатость каждого слоя. Непрерывный слой меди толщиной 60 А был найден в образце №3. Проявление этого - глубокие широкие пики на просмотре XRR. Метод XRR позволил обнаружить неоднородность состава покрытия, которая замечена по различию периодического образцового спектра (однородная смесь и плотность поперек толщины пленки) и непериодического экспериментального спектра, который отражает неоднородность смеси.

Самое низкое электрическое сопротивление для образца №3 коррелирует с его загрязнением медью, выявленным методом XRR. Относительно низкое электросопротивление образца №2 наиболее вероятно связано с его составом (99 % a-Si, который является полупроводниковым материалом с относительно низким сопротивлением) и малой толщиной пленки -680 А. Самое высокое удельное сопротивление было измерено для образца №1, который имеет максимальную толщину -2400 А и состоит главным образом из аморфного углерода.

Разработана методика изготовления композиционных графит-кремниевых катодов, связанных пироуглеродом. Определены составы кремнийсодержащих графитных материалов, обеспечивающих устойчивую длительную работу катода в вакуумно-дуговом источнике плазмы. Наилучшее соответствие состава покрытия и материала катода отмечено для материала на основе мелкозернистого (фракция до 15 мкм) порошка графита.