Фильтр коленного типа

Сильноточный источник плазмы работает при токах до 5 кА в импульсе с частотой следования импульсов до 300 Гц. Усредненный по времени плазменный поток может даже превышать поток, генерируемый стационарными источниками при постоянном токе дуги 100 А. Величина системного коэффициента очень высока и достигает 7%. Сведений о коммерческом применении системы не имеется.

Прямоугольный фильтр с плазмоводом, изогнутым на 90°, а также система для формирования двух плоских потоков фильтрованной плазмы, направленных в противоположные стороны, предложил Велти. В обоих его изобретениях используется плазменный источник с плоским протяженным катодом. Обе системы предназначены для осаждения покрытий на движущиеся поперёк плазменных потоков плоские объекты большой площади. Системный коэффициент эффективности источника, генерирующего два потока, составляет 1,7%. Сведений о практическом использовании изобретений не имеется.

Рисунок изображает сечение устройства плоскостью, перпендикулярной длинной стороне поперечного сечения плазмовода. Ведущее магнитное поле внутри плазмовода является суммой полей двух независимых наборов катушек. Независимое питание катушек позволяет в широких пределах регулировать распределение магнитных полей в плазмоводе, воздействуя тем самым на форму плазменного потока, на эффективность его прохождения через фильтр. Недостаток такой системы - её громоздкость. Гороховским запатентован также источник образным фильтром. Отличительной особенностью фильтра являются размещённые внутри плазмовода у наружной (по отношению к центру кривизны) его стенки двух пластин под регулируемым положительным потенциалом. Действие пластин аналогично действию ленты в плазмоводе фильтра, исследовавшегося Билек и др.