Электропитание установки

При этом прианодная плазма, как правило, имеет потенциал, близкий к потенциалу анода, а прикатодная плазма имеет потенциал на два-три десятка вольт (в зависимости от материала катода вакуумно-дугового разряда) выше потенциала катода. Целью работы является определение характеристик разряда, связывающих ионный ток на мишень с параметрами разряда: основным током разряда и напряжением на электродах, зависимостью от различных геометрических параметров, таких как диаметр и число отверстий, расстояние между катодом и анодом и др.

Она состоит из вакуумной камеры, которая представляет собой цилиндр, диаметр которого 650 мм и высота 1000 мм. На нижнем торце камеры в замкнутой металлической оболочке установлен титановый катод вакуумно-дугового испарителя с изолированным экраном диаметром 200 мм. В верхнем торце оболочки по окружности расположены отверстия. Над торцом оболочки на расстоянии 5 мм от него сносно с камерой установки расположен цилиндр.

Вдоль образующей цилиндра по всей ее длине имеются отверстий диаметром 20 мм. Сносно с ними на расстоянии 1 мм от поверхности цилиндра расположены изолированные зонды Ленгмюра диаметром 14 мм, выводы от которых выходят наружу из камеры и через переключатель и измерительный прибор (амперметр) соединены с корпусом вакуумной камеры. Внутри цилиндра, у его верхнего торца, с зазором от внутренних стенок в 5 мм, установлен электрод в виде круглого диска, имеющий возможность осевого перемещения. Этот электрод в ряде экспериментов используется как анод СВДР или как коллектор ионов, помещённый в газовую плазму.

Электропитание установки осуществляется от источника постоянного тока вакуумно-дугового разряда с напряжением холостого хода 60 В и источника 12 СВДР с напряжением 220 В. Подача рабочего газа в вакуумную камеру установки производится с помощью системы напуска газа, состоящей из автоматического игольчатого натекателя и газового баллона. Установка снабжена паромасляным агрегатом АВДМ 250 и форвакуумным насосом АВЗ 20. Однополюсный переключатель через амперметр соединяет цилиндр с корпусом установки. Двухполюсный переключатель подключает к источнику питания электрод либо цилиндр.