Электронно-лучевой отжиг

Темные участки на фотографиях мы связываем с наличием пор в составе сформированной поверхности. Заметим также, что они в большинстве случаев имеют форму, подобную эллипсу, и вытянуты параллельно поверхности подложки. Однако на снимках переходная область покрытие-подложка в стравленном состоянии менее черпая. Вероятно, происходит частичное перемешивание А1203 с материалом подложки в процессе осаждения порошка, что, в свою очередь, должно положительно сказываться на адгезионных свойствах защитных покрытий. Следует также отметить, что приповерхностная область покрытий имеет все-таки высокоразвитый рельеф и пористую по природе структуру.

Согласно а-фаза А1203 в отраженном свете должна иметь серую, темно-серую или фиолетовую окраску. Другие модификации А1203 более светлые. Поэтому мы считаем, что комбинация на фотографиях белого и серого оттенков это следствие многофазное порошкового подслоя.

При оплавлении материала малоинтенсивными пучками электронов особых изменений в системе обнаружено не было. По анализу шлифов покрытий в исходном состоянии и после электронно-лучевой обработки с плотностью мощности 300 Вт/см, осаждение пленок Сг и TiN является необходимым, но не достаточным условием для формирования поверхности с высокими коррозионными свойствами. На снимке оплавленного шлифа наглядно видно, что воздействие НСЭП позволяет проводить интенсивное снижение пористости в приповерхностной области. Заметим также, что нагревание поверхности пучком электронов до температуры порядка 1000 К сопровождается изменением фазового состава приповерхностной области. На этом участке начинает доминировать а-фаза А1203 (преобладает серый цвет).

Увеличение плотности вводимой мощности до 360 Вт/см сопровождается формированием в приконтактной с подложкой области более развитого рельефа. О пористости на этом участке сказать что-либо трудно, поскольку материал порошка становится похож на мелкодисперсный. Однако такая электронно-лучевая обработка сопровождается формированием участков значительно более темных по контрасту, чем в предыдущем случае.