Электрическая прочность

Созданные ЭГП могут быть использованы в различных низковакуумных электронно-лучевых технологических процессах.

В связи с развитием современных высокотехнологичных областей науки и техники повышается потребность в средствах откачки, которые обеспечивают чистые, безмасляные вакуумные условия. Одним из наиболее эффективных методов откачки, обеспечивающих чистые условия, является криогенный метод. Как было показано ранее, для форвакуумной откачки в широком диапазоне давлений наиболее термодинамически выгоден жидкий неон.

Насос устанавливается на квадратной подставке со стороной 800 мм. Общая высота насоса без патрубков залива - 1250 мм. Форвакуумный конденсационный насос состоит из двух основных частей: корпуса и сборника конденсата. Корпус и сборник конденсата снабжены вакуумными рубашками соответственно. Сборник конденсата подсоединен к корпусу насоса посредством патрубка с клапаном.

Корпус, сборник и их вакуумные рубашки изготовлены из нержавеющей стали. Неоновый откачивающий элемент, изготовленный в виде двух двустенных усеченных конусов, направленных вершиной вниз с углом при вершине 80°, устанавливается внутри корпуса. Площадь неонового откачивающего элемента 0,3 м2. Он подвешен на трубках подачи жидкого неона и отвода его паров. К реципиенту насос подключается через патрубок с клапаном 6 ДУ-100. В проходном сечении патрубка установлен жалюзийный экран, охлаждаемый жидким азотом. Экран охлаждается за счет циркуляции жидкого азота. В сборнике конденсата установлен азотный откачивающий элемент, выполненный из меди в виде кольцеобразной емкости в форме усеченного конуса с меньшим сечением внизу. Азотная емкость снабжена патрубками залива азота и отвода его паров (или откачки паров). Для слива жидкого конденсата предназначен патрубок, опущенный до дна сборника, выполненный со срезом внизу для исключения закупоривания патрубка твердой углекислотой или льдом. Емкость сборника конденсата 15 л, что позволяет откачать до давления тройной точки 11м3 воздуха.