Двухкомпонентные углеродкремниевые покрытия

Осаждение покрытий проводилось в следующем режиме. Ток дуги 1д имел величину 100-120 А, амплитуда ВЧ-напряжения на подложке - 200 В; давление аргона - 1 104; длительность процесса осаждения составляла: образец №1 (катод №1) - 25 мин; образец №2 (катод №2) - 30 мин; образец №3 (катод №3) - 45 мин.

Дополнительный комментарий о характере горения разряда на каждом из катодов, основанный на результатах визуальных наблюдений, приведен ниже.

Катод №3. Разряд поджигается без задержек. При движении катодное пятно часто останавливается, растет напряжение на разряде UA. K, уменьшается ток дуги, одновременно (вероятно, с углублением кратера) уменьшается выходной ионный токовых ион, этот процесс может длиться до нескольких минут. Пятно часто раздваивается либо делится на три пятна. Образовавшиеся пятна сосуществуют до 2-5 с, движутся медленно, находясь близко одно от другого. При погасании разряда наблюдается большая раскаленная область на поверхности катода и заметное газовыделение. По прошествии порядка 40 мин время остановок катодного пятна сокращается до 20 - 40 с, после чего пятно сдвигается, часто на место рядом с предыдущим. Визуально катодное пятно на катоде №3 крупнее, а его свечение ярче, чем на катодах №2 и 1.

Катод №2. Разряд поджигается без задержек. Газовыделение во время работы катода незначительное. Катодное пятно иногда раздваивается, передвигается быстро, часто скачкообразно. После погасания разряда наблюдается раскаленная область на рабочей поверхности катода, происходит кратковременное газовыделение (например, с 5-105 до 7Т05 Торр), вероятно, это связано с испарением свободного кремния из материала катода. При раздвоении два пятна сосуществуют в течение нескольких секунд и могут расходиться друг от друга на расстояние порядка 20 мм. Второе пятно иногда возникает вдали от первого. Иногда одновременно наблюдались три пятна, расположенные в нескольких миллиметрах друг от друга.