Дополнительный отжиг

Показано, что существенную роль в изменении структурно-фазовых характеристик играют сочетания значений параметров осаждения, обуславливающих радиационно-термическую активацию процессов формирования и особенности структурного состояния получаемых слоистых структур.

Показано, что немонотонный характер зависимости Ну покрытий от температуры отжига в вакууме (То) от 400 до 800°С с максимумом значений при Т0 = 400 - 500°С, аналогичен характеру зависимости Ну от температуры конденсации. Такой характер зависимостей обусловлен распадом неравновесных фаз, пересыщенных твердых растворов, образующихся при конденсации в области Тк 500°С на основе легирующего элемента в сплаве. Наблюдаемые после отжига при То = 800°С покрытия представляют собой неоднородные твердые растворы TixCri xN с текстурой. Отличия в значениях таких покрытий обусловлены зависимостью микротвердости от концентрации, определяемой давлением азота, и ускоряющим потенциалом (энергией ионов) при конденсации.

Характерной особенностью работ в области ионно-плазменных покрытий, опубликованных в последние 3-5 лет, является все более широкое использование многокомпонентной плазмы. Покрытия, формируемые осаждением на подложку из многокомпонентной плазмы, содержащей ионы азота, нитридообразующих металлов (титана, циркония, хрома и др.) и ионы некоторых неметаллов (кремний, бор), имеют нанокристаллическую структуру, обладают сверхвысокой твердостью, приближающейся к твердости алмаза, высокими жаростойкостью и износостойкостью. Рост кристаллитов в многокомпонентном осаждаемом покрытии контролируется тонкими пленками, часто с аморфной структурой, которые предотвращают образование столбчатой структуры основной фазы. Ввиду сверхвысокой твердости, сочетающейся с аномально высокой термической стабильностью наноструктурных ионно-плазменных покрытий разработка способов генерации многокомпонентной плазмы, имеющей стабильный во времени и однородный по объему элементный состав, представляет собой актуальную задачу, важную в научном и прикладном отношении.