Дополнительный комментарий

Катод №1. Разряд поджигается без задержек. Катодное пятно передвигается медленнее, чем на катоде №2. Иногда катодное пятно раздваивается, при этом оба пятна сосуществуют в течение до 10с. Иногда катодное пятно стоит на месте, в это время раскаленных брызг не наблюдается, при этом напряжение на разряде растет, а ток дуги и выходной ионный ток источника плазмы уменьшаются. Такое состояние может сохраняться в течение нескольких секунд.

Полученные углерод-кремниевые покрытия исследовались различными методами. Для оценки толщины, микроструктуры пленки, состава пленки, однородности распределения состава смеси по толщине пленки и возможного загрязнения пленки в течение процесса нанесения использовались рентгеновские методы: при скользящем угле (20 = 0.2°-6°) и XRD, а также эллипсометрия.

Электрическое сопротивление пленок измерялось автоматическим четырехточечным зондовым измерителем (поверхностное сопротивление), а также цифровым омметром при расстоянии 1 см между щупами. Омметр, расстояние между щупами 1 см 4 точечный зонд, зонды в вершинах квадрата

В ходе испытаний все изготовленные катоды показали достаточно высокую механическую прочность. Эти катоды длительно работали в вакуумно-дуговом источнике плазмы.

Разработанные нами катоды на основе ГСП (графита, связанного пироуглеррдом) характеризуются достаточно равномерным выгоранием (эрозией) рабочей поверхности. Суммарная длительность работы катодов в ходе испытаний и нанесения покрытий на образцы составляла несколько часов. Муаровые следы на боковой поверхности катода - мелкие трещины, образовавшиеся в процессе изготовления.

Следующую позицию по стабильности занял катод №1. Разряд на катоде №3 горит наименее стабильно. Следует отметить, что материал этого катода содержит наибольшее количество пироуглерода. Он имеет наименьшую открытую пористость.