Вакуумные установки

Анализ состояния и тенденций

Длительность процесса выращивания монокристалла растёт, а его производительность уменьшается, увеличивается потребляемая электрическая мощность на нагревателе и общие затраты электроэнергии на процесс. Другая важная причина, которая вынуждает выращивать монокристалл с пониженной скоростью выращивание, это явление искривления Подробнее »

Величина потребляемой мощности

В Украине, в том числе в г. Запорожье в настоящее время происходит возрождение производства монокристаллического кремния различных марок, в частности - для солнечной энергетики. Анализ состояния и тенденций развития солнечной полупроводниковой энергетики показывает, что кремний остаётся на видимую перспективу основным материалом для преобразователей Подробнее »

Формирование тепловых условий

Из опытных данных стабилизация тепловых условий происходит при длине монокристалла, равной 1,5...2,0 диаметрам выращиваемого монокристалла. На этом участке выращиваемого монокристалла сказываются и накапливаемая оттеснением примесь, и формирование тепловых условий выращивания. Дальнейшее увеличение длины монокристалла приводит Подробнее »

Экспериментальные исследования процесса дегазации порошковых материалов

В данной работе проводился эксперимент по дегазации цилиндрической капсулы диаметром 24,4 мм, высотой 300 мм. Капсула заполнялась титановым порошком и нагревалась до температуры 35°С.

Обновление показаний датчиков производилось каждые 30 с. Первые 88 мин дегазация производилась через игольчатый Подробнее »

Длина свободного пробега

При этом наибольшую трудность представляет процесс дегазации для малых давлений молекулярная диффузия. Этот процесс наступает с того момента, когда длина свободного пробега молекулы совпадает со средним размером пор.

Можно оценить давление, при котором наступает молекулярная диффузия на примере молекулы Подробнее »

Возвратно-поступательное движение

Для создания вакуума используются высоковакуумные насосы НВДМ-400, для форвакуумной откачки рекомендуется агрегат ЕН1200 + Е1М275, Edwards.

Поток паров КОС формируется в бачке с жидким КОС, который закреплен справа на цилиндрической части камеры, под панелью с РРГ. Бачок объемом - 5 л, имеет систему нагрева и поддержания заданной Подробнее »

Клапаны и затворы

В третьих, применен пленарный дуговой распылитель длиной 3 м, с системой, обеспечивающей возвратно-поступательное движение катодных пятен.

Дуговой распылитель расположен в кармане в верхней части камеры. Карман имеет фланцы для ввода питания и охлаждения дугового распылителя с защитными экранами. Анодом является вакуумная камера. Подробнее »

Осаждение кремнийорганических слоев

Используется термическое испарение алюминия - до 20 вольфрамовых спиралей.

Осаждение кремнийорганических слоев осуществляется в ВЧ-разряде (13,56 мГц) и обеспечивает защиту алюминиевого слоя от воздействия окружающей среды. Бачок с кремнийорганической жидкостью имеет систему поддержания заданной температуры и систему регулирования Подробнее »

Средняя высота

Следует отмстить, что операция дегазации металлических гранул перед их герметизацией в капсулах и компактированием важнейшая стадия, определяющая качество изделий. Отличительная особенность такого процесса состоит в том, что молекулы адсорбируемого газа попадают внутрь пор как в результате диффузии по поверхности препятствия, Подробнее »

Сервисные функции

Решение этих задач возлагается на программное обеспечение промышленного компьютера, в процессную модель заложено достаточно управляющих и управляемых сигналов для получения полной информации о ходе процесса. Таким образом, оператор может получать полную информацию о состоянии установки в реальном режиме времени.

Процесс Подробнее »