Магнитные фильтры

Нетрадиционные способы фильтрации

Из приведенных данных видно, что за последние полтора-два десятилетия многое достигнуто в понимании механизмов подавления эмиссии МЧ в процессе формирования плазменных потоков с применением вакуумно-дугового разряда катодного типа. С учётом сложившихся представлений об этих механизмах разработан ряд источников эрозионной плазмы Подробнее »

Увеличение линейных размеров

С помощью диафрагмы отсекается периферийная, наиболее интенсивная часть потока МЧ, а ионная компонента плазмы, сфокусированная магнитным полем катушки, проходит через отверстие диафрагмы.

Нетрадиционные способы фильтрации. В отличие от всех предыдущих вариантов плазменных фильтров, в которых управление плазменным Подробнее »

Анализ данных

Увеличение линейных размеров поперечного сечения рассматриваемой системы (в исследуемом варианте - приблизительно до 200 - 300 мм) при малом аспектовом отношении, близком к минимально возможному, способствует значительному повышению пропускной способности системы. Основные потери плазмы при её транспортировке приходятся на криволинейную Подробнее »

Сумма аксиальных ионных потоков

В отличие от СФРП, в которой выходной плазменный поток направлен от оси системы к её периферии, в системе, разработанной в группе Саблева, радиальные потоки бескапельной плазмы направлены к оси, вдоль которой размещён обрабатываемый объект-подложка. В этом устройстве плазменные потоки, генерируемые катодными пятнами на наружной поверхности Подробнее »

Жалюзийные фильтры

Здесь отсутствие прямой видимости между катодом и подложкой (а следовательно - и фильтрующие свойства системы) определяется кольцевой формой катода и соотношениями между его диаметром, диаметром центрального отверстия катушки и расстояниями катод-катушка и катушка-подложка.

Система формирования радиальных потоков (СФРП) фильтрованной Подробнее »

Возможность движения макрочастиц

Прототипом куполообразного источника является устройство, предложенное ранее Аксёновым и Бренём.

Жалюзийные фильтры привлекают к себе внимание своей простотой и высокой степенью пропускания плазмы. Фильтр представляет собой набор параллельных пластин типа жалюзи, по которым пропускается ток, создающий магнитное поле для транспортировки Подробнее »

Питание соленоида

В последние годы широкую известность приобрёл спиральный фильтр (twist filter), который можно рассматривать как разновидность 5-образного фильтра, и отличающийся от последнего тем, что составляющие его криволинейные участки изогнуты в разных плоскостях. По мнению разработчиков (Key Ши и др.), эта особенность фильтра способствует Подробнее »

Фильтр коленного типа

Сильноточный источник плазмы работает при токах до 5 кА в импульсе с частотой следования импульсов до 300 Гц. Усредненный по времени плазменный поток может даже превышать поток, генерируемый стационарными источниками при постоянном токе дуги 100 А. Величина системного коэффициента очень высока и достигает Подробнее »

Классический фильтр

Додоновым с сотрудниками разработан тороидальный фильтр с поворотом плазменного потока на 120°. При постоянном токе дуги 200 А системный коэффициент плазменного источника с таким фильтром составляет около 3,7%. Сильноточный импульсный источник, оснащённый фильтром с углом изгиба тороидального плазмовода 120° описан в работе. Подробнее »