Азотоактивные компоненты

Основные положения энергетической модели сводятся к следующему.

Существуют условия, определяемые как видом поверхности, так и характеристиками технологического режима, при которых любые из отмеченных выше процессов могут иметь место.

Вероятность того или иного процесса определяется сопоставлением и соответствием энергетического спектра падающего потока энергетическим характеристикам, в рамках которых он возможен.

В первую очередь проходят те процессы, которые в данных конкретных условиях энергетически наиболее выгодны.

Существенна роль адсорбционных процессов через адсорбционный слой, падающий поток в значительной мере воздействует на модифицируемую поверхность.

Основным источником генерации атомарного азота, концентрация которого наиболее существенно влияет на интенсивность АТР, является процесс диссоциации молекул электронным ударом или как результат рекомбинации молекулярных ионов непосредственно на поверхности.

Принципы энергетической модели позволяют формулировать факторы влияния на процесс АТР, включая конечные результаты, а также прогнозировать оптимальные характеристики технологических режимов.

К числу перспективных вакуумных методов обработки конструкционных материалов принадлежит метод низкоэнергетического ионно-лучевого легирования при высоких плотностях ионного тока. В отличие от традиционных методов имплантации, применяющихся в производстве полупроводниковых изделий, обработка металлических материалов, имеющих значительно более высокую теплопроводность, позволяет в меньшей степени принимать во внимание высокие температуры нагрева облучаемого материала, образующиеся в результате диссипации высокоинтенсивных потоков ионов. Кроме того, в отличие от полупроводникового производства, в котором ионная имплантация призвана формировать слои легируемых материалов с заданными границами внутри поверхностного объема полупроводника, высокоинтенсивная низкоэнергетическая ионно-лучевая имплантация в металлы и сплавы должна обеспечить модифицирование глубокого поверхностного слоя с развитой границей раздела.