Атомно-силовой микроскоп

Атомно-силовой микроскоп ТМХ-2100 ACCUREX использовался в качестве основного оборудования, для чего были получены максимальные сканы поверхностей образцов, которые позволили получить общую информацию о структуре поверхности пленочных покрытий. Для изучения морфологии формируемых пленок использовался метод платиноугольных реплик, для диагностики микрорельефа - анализ теней.

ПОКРЫТИЙ НА ОСНОВЕ Ti-Zr-N Вакуумное испарение титановой и циркониевых мишеней с использованием дугового источника производилось при различном сочетании технологических параметров. Установлено, что методом вакуумно-дугового осаждения могут быть сформированы различные по строению тонкопленочные покрытия Ti-Zr-N, формирование происходит с локальными особенностями. Ростовая поверхность покрытия, выявленная на электронном микроскопе, состоит из округлых бугорков диаметром 1-6 мкм, распределенных статически равномерно.

Показано, что увеличение времени осаждения пленки, прежде всего, приводит к увеличению числа островков на ростовой поверхности пленки и первичному образованию кристаллической составляющей. Элементы огранки, свидетельствующие об упорядоченном строении пленки, присутствуют лишь на одном из бугорков. Обнаружен участок пленки с мелкоячеистой структурой и единичными кластерами, на поверхности которых зафиксировано первичное образование ориентированных структур.

Отсутствие других отражений у остальных осажденных бугорков и кластеров обусловлено невысокой концентрацией кристаллической фазы в объеме пленки и текстурированием зерен кристаллической фазы. Таким образом, осажденная пленка фазово неоднородна и представляет собой смесь рентгеноаморфной и кристаллической фаз.