Анализ профилей шероховатости

Вследствие структурных преобразований нанокристаллические покрытия приобретают высокие (более 40 ГПа) значения твердости, что, например, в 2 раза превышает твердость (20-25 ГПа) TiN-покрытий, получаемых по традиционной технологии, когда размер зёрен в покрытии достигает микрометра. Адгезия также увеличивается в 2 раза за счет увеличения числа зарождающихся кристаллитов (в силу уменьшения их линейных размеров) на границе сопряжения с подложкой.

Значения концентраций дополнительного металлического компонента в материале электродугового испарителя определяют выбор режимов конденсации для получения покрытий с оптимальными свойствами. Для композиционных спеченных катодов системы Ti-Cu предпочтительная концентрация меди составляет 12%. Отклонение в большую или в меньшую сторону от этого значения ведет к снижению основных свойств покрытия при выбранных параметрах процесса напыления.

По результатам лабораторных исследований механических характеристик TiN-покрытий с нанокристаллической структурой выявлены их очевидные преимущества по сравнению с традиционными TiN-покрытиями. В связи с чем прослеживается перспектива индустриального применения обсуждаемого метода в виде создания технологии и автоматизированного оборудования по формированию защитных покрытий для обработки конкретных материалов и изделий.

Изучение закономерностей формирования нанослойных покрытий, получаемых методом вакуумно-дугового осаждения (в. д.о.), представляет как практический, так и научный интерес. Связано это с перспективой расширения областей применения таких покрытий, обладающих преимуществами по сравнению с монофазными TiN и CrN, и с углублением понимания мало изученных процессов формирования нанослойных структур на основе взаимно растворимых систем типа TiN-CrN в условиях осаждения высокоионизированных, возбужденных компонентов потоков вакуумно-дуговой плазмы.