Анализ данных

Увеличение линейных размеров поперечного сечения рассматриваемой системы (в исследуемом варианте - приблизительно до 200 - 300 мм) при малом аспектовом отношении, близком к минимально возможному, способствует значительному повышению пропускной способности системы. Основные потери плазмы при её транспортировке приходятся на криволинейную часть плазмоведущего канала. Потери здесь обусловлены диффузией частиц поперёк магнитного поля на стенки плазмовода, а также градиентным и центробежным дрейфами плазмы.

Установлено, что дрейфовые потери могут быть заметно снижены локальной корректировкой магнитного поля. Обнаружено также, что значительное снижение дрейфовых потерь может быть достигнуто подачей отрицательного потенциала на часть стенки криволинейного плазмовода вблизи его выходного проёма со стороны, противоположной направлению или в направлении R, при положительном потенциале смещения на плазмоводе в целом.

Уровень потерь независимо от их происхождения снижается, а ионный ток на выходе криволинейной части плазмоведущего канала соответственно увеличивается с повышением положительного потенциала смещения на плазмоводе. В исследуемом варианте системы её максимальная пропускная способность отмечалась при смещении 25 В. В режиме частично отрицательного плазмовода (см. выше) достигнуты максимальные значения пропускной способности системы. При этом в отличие от традиционных условий ионный ток на выходе увеличивался, не достигая максимума, с ростом положительного смещения до 50 В.

Изложенные результаты использованы при разработке источника с Г-образным плазмоводом. Системный коэффициент эффективности источника достигает -5,5%.

Key Ши и др. предложили двухканальный источник фильтрованной плазмы. В его состав входят два генератора плазмы с магнитной стабилизацией дуги и плазмовод с двумя входными и одной общей выходной секцией. Через выходную секцию смешанный поток плазмы от двух генераторов попадает на подложку. В каждой входной секции размещён фильтр в виде диафрагмы, охваченной фокусирующей катушкой.